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上海微系統(tǒng)所成功研制1.5英寸石墨烯單晶晶圓

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作者:  來源:中國汽車零部件  時(shí)間:2015/11/26 8:56:03

中國汽車零部件網(wǎng)】訊:在國家重大專項(xiàng)“晶圓級石墨烯材料和器件基礎(chǔ)研究”等項(xiàng)目的支持下,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所石墨烯研究取得新進(jìn)展。信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員謝曉明領(lǐng)導(dǎo)的石墨烯研究團(tuán)隊(duì)在國際上首次實(shí)現(xiàn)石墨烯單核控制形核和快速生長,成功研制~1.5英寸石墨烯單晶,研究論文于11月23日在Nature Materials 上在線發(fā)表(T.R. Wu, et al, Fast growth of inch-sized single-crystalline graphene from a controlled single nucleus on Cu-Ni alloys, DOI: 10.1038/nmat4477 (2015))。

銅表面催化生長是目前制備石墨烯薄膜的主要技術(shù)途徑,但由于無法實(shí)現(xiàn)單核控制,因而制備的薄膜一般為多晶,且生長速度隨著時(shí)間的推移逐漸變慢。此前銅襯底上制備的最大石墨烯單晶籌尺寸約為1厘米,且需要較長的生長時(shí)間。上海微系統(tǒng)所研究團(tuán)隊(duì)通過向具有一定溶碳能力的Cu85Ni15合金局域提供碳源,產(chǎn)生局部碳濃度過飽和,成功解決了石墨烯單個(gè)核心控制形核這一技術(shù)難題。研究發(fā)現(xiàn),Cu85Ni15襯底上石墨烯的生長機(jī)理為等溫析出,既不同于銅襯底上的表面催化,也不同于Ni襯底的冷卻析出。由于溶解在合金襯底內(nèi)的碳原子參與了表面的石墨烯反應(yīng),導(dǎo)致石墨烯單晶近乎線性生長,速度高達(dá)180微米/分鐘。合作團(tuán)隊(duì)美國德州州立大學(xué)的于慶凱團(tuán)隊(duì)利用同位素方法驗(yàn)證了等溫析出這一石墨烯生長新機(jī)理,香港理工大學(xué)教授丁峰和華東師范大學(xué)博士袁清紅聯(lián)合開展了第一性原理計(jì)算,進(jìn)一步解釋了Cu85Ni15合金襯底上石墨烯高速生長的原因,同時(shí)對更高Ni含量合金襯底上石墨烯生長速度下降的原因進(jìn)行了分析。

單晶硅是微電子技術(shù)發(fā)展的基石,而單晶石墨烯則是其在電子學(xué)領(lǐng)域規(guī)模化應(yīng)用的前提。通過單核控制制備晶圓級石墨烯可以視為是三維硅單晶技術(shù)在二維材料中的再現(xiàn),對于推動石墨烯在電子學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用具有重要意義。該研究發(fā)展的控制形核技術(shù)也為探索其它二維材料單晶晶圓的制備提供了全新的思路。

Ni-Cu合金表面快速生長晶圓級石墨烯單晶(左)和同位素技術(shù)對合金襯底上石墨烯生長機(jī)理的分析(右)

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